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                • 产品型号 : 等离子清洗机在微电子元器件加工中的应用
                • 产品系列:
                • 机械轴数:
                • 有效行程: 0
                • 电机类型:
                • 传动方式:
                • 功能模块:
                产品内容描述

                微电湖北十一选五手机版子技能的进步使得信息、通讯和娱乐融为一体。选用等离子体技能湖北11选5开奖结果施行原子级工艺制作,使微电子器材的小型化成为可能。等离子体技能于20世纪90年代进入微电子器材制作范畴。下面就来讨论等离子清洗机在核心加工工艺(如刻蚀、堆积以及惨杂)中的使用。

                等离子清洗机在微电子器材加工中的使用

                20世纪70年代末、80年代初,等离子体技能成河北快三推荐号一定牛为集成电路制作工艺中的关键技能。现在,30%的制作工艺要用到等离甘肃快三走势图子体。1999年,全球微电子职业共采购了价值176亿美元的等离子体设备,这些设备出产了价值2450亿美元的芯片。现在,等离子体处理技能以使用于DRAMS、SRAIMS、MODFETS、薄绝缘栅氧化层湖北新11选5开奖结果的出产以及新式光电资料,如硅锗合金、高温电子资湖北11选5时间改了吗料(金刚石或类金刚石碳薄膜)、碳化硅、立方一定牛彩票网11选5氮化硼以及更多资料和元器材的甘肃十一选五加工制作。

                等离子清洗机在集成电路不同工序中的使用

                制作工序

                等离内蒙古十一选五子体工艺

                等离子体源

                光刻

                光化学

                紫外线

                刻蚀

                蒸发反响

                二极管、电广东11选五开奖走势图历史感耦合等离子体电源

                惨杂

                离子注入

                离子源

                检测

                成长氧化大乐透第5期开奖结果层

                PECVD

                二极管、电感耦合等离子体电源

                多晶广东省11选五走势图硅堆积

                PECVD

                二极管、电感耦合等离子体电源

                绝缘层湖北11湖北11选5走势图堆积

                PECVD

                二极管、电感耦合等离子体电源

                金属层堆积

                溅射

                磁控管、PECVD

                晶圆的标湖北11选5任二遗漏表记

                激光

                钝化层

                PECVD

                二极管、电感耦合等离子体源

                封装


                出产11选5中奖规则半导体器材的最初质料为晶体硅湖北11选五遗漏导航或非晶体薄膜。等离子体化学气相堆积是出产a-Si:H的首要技能。等离子体化学气相堆积工艺凭借等离子体介质生成离子成分,离子成分随后参与反响湖北11选五真准网并在基底外表实现堆积。与传统化学气相堆积工艺比较,等离子体化学气相堆积工艺可在温度远低于前者的处理温度下生成离子成分,同时,经过离子轰击,可以对薄膜进行改性。等离子体化学气相堆积工艺中的前驱膜一般为经惰性气体稀释的SH4气体,反响产品则为氢化非晶体硅薄膜。

                等离子体清洗机在堆积工艺中的运用由以下四个进程组成。

                (1)电子和反响湖北11选五遗漏气体发作电子碰撞反响,生成离子和自由基;
                (2)活性组分从等离子体传输到基底外表;
                (3)活性组分经过吸附作用湖北11选五怎么玩或物化反响堆积到基底外表;
                (4)活性组分或反响产品成为堆积薄膜湖北十一选五开奖结果的组成部分排列三p3试机号今天。

                在高密度等离子体化学气相堆积工艺中,堆积和刻湖北福彩快三查询蚀进程往往同时发作。该工艺中的三种首要机理为:等离子体离子陕西体彩11选5走势图辅佐堆积、氩离子溅射湖北十一选五奖金查询以及溅射资料的再堆积。在 高密度等离子体化学气相堆积(HDP CVD)工艺中,高密度等离子体乐选五规则源(如感应耦合等离子体(ICP)、电子回旋共振等离子体(ECR)或螺旋波等离子体(helicon))对包含硅烷、氧气和氩气的混合十一选五走势图湖北气体进行激起。经过将基底湖北11选5遗漏top作为阴极,可将等离子体中的高能正离子招湖北快三下载安装引至晶体十一选五奖金对照表外表,随后氧与硅烷发作反响生成氧硅烷,在由氩离子溅射进程除去氧硅烷。

                在半导体制作中一般选用两种印刷线路制版技能,这两种技能彼此湖北体彩11选五开奖号具有互补性。其间一种技能是将电介质印刷到金属外表,另一种技能则是将金属镶嵌在介质板上。前者即为离子刻湖北11选5预测蚀(RIE)制版技能,其操作进程如下:
                (1)在晶片外表堆积一层厚度均匀的金属层;
                (2)然后再外表均匀地涂一层光敏性聚合物——光刻胶;
                (3)经过光学手段将电路图案透射至光刻外表,从而改变其溶解性;
                (4)选用反响性刻蚀剂将易溶解部分去除,构成一层体彩排列三走势图360掩模层;
                (5)将未被掩模层保护的金属刻蚀去除;
                (6)经过湖北十一选五任五遗漏等离子体去胶,将光刻胶剥除;
                (7)堆积二氧化硅或氮化硅,钝化外表。

                第二种制排列三字谜版技能,即镶嵌技能的灵感源自于历史悠久的首饰镶嵌工艺,或称大马士革湖北11选五前三直遗漏工艺。这种技能需求先在平面电介质层上刻蚀湖北11选5技巧出纵横分布的沟槽,然后11选5湖北选用金属堆积工艺将沟槽内填充金属,从而在一个平面爱彩乐十一选五遗漏上镶嵌入所需电路。在堆江苏11选5开奖走势图积一层绝缘层后,即可重复进行下一层金属薄膜的镶嵌。

                以上就是等离子清江苏体彩11选五走势图洗机在微电子器材加工中的使用,假如你也有这方面的问题需求解决。欢福彩快三开奖结果迎来电咨询。




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